光刻胶的作用是什么(光刻胶的作用)

1、光刻胶是一大类具有光敏化学作用（或对电子能量敏感）的高分子材料，是一种转移UV曝光或电子束曝光图案的介质。光刻胶英文名称也翻译为、等。光刻胶的作用是作为抗蚀层保护基板表面。光刻胶只是一个图像，因为光刻胶在外观上似乎是一种凝胶状液体。

2、光刻胶通常呈薄膜形式，均匀地覆盖在基板表面。当受到紫外线或电子束的照射时，光刻胶材料本身的特性会发生变化。显影剂显影后，曝光的负性光刻胶或未曝光的正性光刻胶会残留在基板表面，这样设计的微纳结构就转移到光刻胶上，后续的刻蚀、沉积等工艺可以进一步将图案转移到光刻胶下方的基板上，最后用胶水去除剂去除光刻胶即可。